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平臺介紹
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電流源表Keithley 2450
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高頻探針測試系統(tǒng) (40G)
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功率測試800-1700nm、≤40W
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光譜分析儀Anritsu MS9740B 600 -1750 nm
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高速誤碼分析儀 Anritsu MP1900A
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采樣示波器 Anritsu MP2110A
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實時示波器
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頻譜儀 N9322C 9kHz-7GHz
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自相關儀 Femtochrome FR-103 XL
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變溫測試系統(tǒng) 室溫-120℃
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光纖熔接機 S183PMII
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發(fā)散角測試系統(tǒng)
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分子束外延(MBE)
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電子束曝光機 晶圓級制造
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自動紫外光刻機
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手動紫外光刻機
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自動勻膠機
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自動顯影機
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HMDS烘箱
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手動勻膠機
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反應離子刻蝕RIE
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電感耦合等離子體刻蝕ICP
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電子束蒸發(fā)鍍膜
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磁控濺射sputter
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等離子增強化學氣相沉積PECVD
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有機清洗機
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無機清洗機
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臺階儀
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膜厚儀
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快速退火爐
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引線機
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減薄拋光機
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量子點、量子阱外延生長
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光刻
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金屬層沉積
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刻蝕
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光電子器件定制
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形貌和成分檢測表征
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超快激光測試
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非線性光學特性測試
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激光器的靜態(tài)和動態(tài)測試
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定制化服務
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